以活性炭为载体对吸附半导体烟道气中含卤素的有害污染物有效果

以活性炭为载体，载有3%-18%碱金属甲酸盐和（或）碱土金属甲酸盐，具有比表面积700-2500㎡/g，较可取的是1000-2500㎡/g和4-32目大小，以此吸附半导体烟道气中含卤素的有害污染物，例如氯、碘、氟化氢、氯化氢、三氟化硼、三氯化硼、四氟化硅、四氯化硅、四氯化钛、三氯化铝、四氟化钨.